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產品分類列表
塗佈機
產品介紹:

• 可使用光阻及各種聚合物(Polymer)材料於200mm/300mm晶片上,包括:
   塗佈/顯影/固化製程。
• 基本的機型可使用於實驗室(包含塗佈,顯影及去除)。